Multiflo® Compounds

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J520B

典型材料性能

零件名称 J520B
表面硬度（邵氏A） 75
抗拉强度 12.8
延伸率(%) 160
颜色 BLACK
工作温度 (°C) 320
压缩永久变形(%)
200°C *70h		 10

关键属性

  • 高温过程中适应性强
  • 优越的等离子体电阻
  • 优秀的耐化学性
  • 低压缩永久变形

应用

  • 密封石英棒
  • 密封进气口
  • 密封阀门
  • 密封腔室盖

建议

  • 氧化（Low pressure chemical vapor desposition低压化学气相沉积）
  • 扩散作用
  • 快速热处理
  • 等离子体干刻蚀
  • 干灰化法