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J520B
典型材料性能
零件名称
J520B
表面硬度(邵氏A)
75
抗拉强度
12.8
延伸率(%)
160
颜色
BLACK
工作温度 (°C)
320
压缩永久变形(%)
200°C *70h
10
关键属性
高温过程中适应性强
优越的等离子体电阻
优秀的耐化学性
低压缩永久变形
应用
密封石英棒
密封进气口
密封阀门
密封腔室盖
建议
氧化(Low pressure chemical vapor desposition低压化学气相沉积)
扩散作用
快速热处理
等离子体干刻蚀
干灰化法